在超痕量气体分析领域中，HA-9660-Plus电子特气专用气相色谱仪发挥着至关重要的作用。它能够精确分析和监控电子特气中的杂质含量，确保气体质量符合严格的工业标准。此外，该仪器还适用于研究和开发领域，帮助客户深入理解气体反应过程，从而优化电子特气的制备工艺。
产品详情
HA-9660-Plus电子特气专用气相色谱仪的应用
在超痕量气体分析领域中，HA-9660-Plus电子特气专用气相色谱仪发挥着至关重要的作用。它能够精确分析和监控电子特气中的杂质含量，确保气体质量符合严格的工业标准。此外，该仪器还适用于研究和开发领域，帮助客户深入理解气体反应过程，从而优化电子特气的制备工艺。
半导体制造：在半导体制造过程中，对电子特气的纯度要求高。HA-9660-Plus可以检测气体中的痕量杂质，如氧气、氮气、水分等，确保气体质量符合生产标准。
平板显示：在液晶显示屏（LCD）和有机发光二极管（OLED）的生产中，HA-9660-Plus用于分析和控制生产过程中使用的电子特气，以保证显示面板的质量和性能。
太阳能电池：在太阳能电池的生产中，HA-9660-Plus可以检测硅烷、磷烷等气体的纯度，从而提高太阳能电池的转换效率和稳定性。
硬盘驱动器：硬盘驱动器的制造过程中需要使用高纯度的电子特气。HA-9660-Plus能够准确分析这些气体，确保硬盘驱动器的性能和可靠性。
光刻工艺：在光刻工艺中，HA-9660-Plus用于检测和控制光刻气体的纯度，以保证光刻过程的精确度和重复性。
环境监测：HA-9660-Plus还可以用于监测生产环境中的气体成分，确保工作环境的安全和健康。
研究与开发：在电子特气相关的研究与开发领域，HA-9660-Plus提供了一个强大的分析平台，帮助科研人员探索新的材料和工艺。
仪器特点
PDHID S Pro+检测器
PDHID S Pro+ 检测器是一种超高灵敏度的检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合超纯气体的分析，是能够检测至ng/g（ppb）级的检测器。新制定的气体产品的国家标准中都规定采用氦离子化检测器代替原有的热导等检测器，这大大提高了气体产品的分析能力。由华爱色谱承担主要起草任务的国家标准GB/T 28726-2012《气体分析 氦离子化气相色谱法》也已经于2013年02月01日起正式公布实施。
HA-11稀释仪 (选配)
由于标气无法配置到1ppb浓度，配套稀释仪做线性标定用，一般标气配置浓度为1ppm，经过稀释仪，稀释至1ppb进行多点线性标定，较为准确，标曲线性需达到3个9以上。
创新设计:电气分离与模块化配置
电气分离设计：HA-9660-Plus采用独特的电气分离设计，将电气模块与气路模块完全隔离。这一创新不仅减少了电磁干扰，提高了分析精度，还大大提升了设备的安全性。电路与样品分析部分的隔离，有效防止了潜在的交叉污染和安全隐患。
灵活的配置方案
提供单通道和多通道配置，满足不同客户的需求。单通道适用于单一气体分析，而多通道支持多组分、多样品同时分析。特别是PDHID S Pro+检测器的配置，支持多种气体的超痕量分析具有高灵敏应和强稳定性，是半导体行业的理想选择。
